真空腔体常用的清洗方法
1、放电清洗
放电清洗一般用于高真空、超高真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.
2、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短,容易被抽走的特性,用氮气冲洗被污染的真空系统,同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间,缩短真空系统的抽气时间.
真空腔体加工的注意事项
真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。
超高真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用较广。
为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。
真空腔体优势及特性
——按照客户要求，加工订制；
——一对一专业出图设计；
——可配套真空机组系统；
——耐高温、耐腐蚀；
——高质量、；
加工工艺，完全采用真空焊接技术拼装焊接；
先进的真空捡漏设备，更加保证产品的优越性；
超高真空主要应用在离子镀膜、高真空半导体设备、实验室设备等对环境要求极高的真空领域。
我公司采用三维建模软件，按照实际比例建立3D模型，根据客户文字、语言草图等需求表述，专业设计出适合客户所需产品方案（在方案定稿之前所有设计不收取任何费用）。
为了生产出匹配客户需求的产品，需要告知我公司以下几个问题点：
1、产品在使用过程中是否有温度产生，高温和低温分别是多少摄氏度，是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。
2、对产品材质是否有特殊要求，真空领域腔体常用材质为：碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等
3、产品的链接方式，抽真空的方式，抽真空所用的真空泵等
4、腔体真空度的要求，腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。
通常常见真空腔体技术性能：
材质：304不锈钢或客户材质。
腔体适用温度范围：-190℃~+1500℃（需加水冷却）
密封方式：氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈
出厂检测事项：
1、真空漏率检测：标准检测漏率：1.3*10-8Pa●L/S
2、水冷水压检测：标准检测压力：8公斤24小时无泄漏检测。
内外表面处理：拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等。
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